山東汽車?yán)锍瘫韨鞲衅?/strong>電子系統(tǒng)向著采用Mems傳感器的方向發(fā)展。Philips Electronics公司和Continental Treves公司10年銷售1億只用于汽車ABS系統(tǒng)的傳感器芯片,生產(chǎn)上達(dá)到了一個新的里程碑。兩個公司共同開發(fā)有源磁場傳感器的前瞻性技術(shù),產(chǎn)品應(yīng)用在汽車廠家生產(chǎn)的最新的轎車上。Continental Teves公司用這種磁阻式轉(zhuǎn)速傳感器制作了輪速傳感器,用于ABS系統(tǒng),防滑系統(tǒng)等。Mems傳感器成本低、可靠性好、尺寸小,可以集成在新的系統(tǒng)中,工作時間達(dá)到幾百萬個小時。Mems器件最早的是絕壓傳感器(Map)和氣囊加速度傳感器。正在研發(fā)和小批量生產(chǎn)的MEMS/MST產(chǎn)品有:輪速旋轉(zhuǎn)傳感器,胎壓傳感器,制冷壓力傳感器,發(fā)動機油壓傳感器,剎車壓力傳感器和偏離速率傳感器等等。在今后的5-7年Mems器件將大量應(yīng)用到汽車系統(tǒng)中。